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平面度测量1 .相移型斐索干涉仪的工作原理对于斐索干涉仪,能够观察到参考平面与测量平面间的干涉条纹,能够计算出条纹的位相分布。被测平面的表面轮廓可通过位相分布来确定。下图为使用激光光源的斐索干涉仪基本的光学结构。激光束经物镜、针孔、准直透镜准直,参考光学平面与准直光束垂直,并采用光楔或减反射膜系来抑制它的背面反射。参考和测量面间的干涉条纹经电视摄像机来探测。分束器或λ/4波片以及偏振分束器用来引导光束入射于电视摄像机上。这种斐索干涉仪,需要采用长焦距的准直透镜来获得高的精度。干涉条纹函数I(x,y):式中,I。为背景光强度;y(x,y)为条纹调制函数;φ(x,y)为被测条纹的位相分布函数;φ。 ...
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